ICS31.030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T32652—2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 Fusedquartzusedforquartzceramiccruciblesforcastingpolycrystallinesilicon 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中 腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人:薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬。 ⅠGB/T32652—2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 1 范围 本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运 输和贮存。 本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T3284 石英玻璃化学成分分析方法 GB/T8946 塑料编织袋通用技术要求 JC/T2027—2010 高纯石英中杂质含量的测定方法———电感耦合等离子体原子发射光谱法 SJ/T10380—2012 工业用酸洗石英砂 3 产品分类 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为熔融石英块料和熔融石英砂料。 4 技术要求 4.1 外观 熔融石英块料外观应为无色透明或半透明,无异色点。 4.2 灼烧失量 熔融石英料灼烧失量应小于0.05%。 4.3 粒度 熔融石英块料应大于或等于830μm;粒径小于830μm的为熔融石英砂料。 4.4 二氧化硅含量 二氧化硅含量应不低于99.95%。 4.5 杂质元素含量 杂质元素总含量应小于80μg/g,各杂质元素的含量应符合表1的规定。 1GB/T32652—2016 表1 杂质元素含量 单位为微克每克 杂质元素 允许含量 铝(Al) ≤50 钙(Ca) ≤25 铁(Fe) ≤20 钠(Na) ≤15 钾(K) ≤20 锂(Li) ≤5 钛(Ti) ≤10 镁(Mg) ≤4.0 硼(B) ≤0.5 磷(P) ≤0.5 5 检验方法 5.1 外观 光照度不低于300lx,距离试样0.5m处目视检查熔融石英料的外观。 5.2 灼烧失量 灼烧失量按照GB/T3284的规定进行测定。 5.3 粒度 粒度按SJ/T10380—2012的规定进行测定。 5.4 二氧化硅含量 二氧化硅含量按照GB/T3284的规定进行测定。 5.5 杂质元素含量 5.5.1 铝、钙、铁、钠、钾、锂、钛、镁、硼元素含量按GB/T3284的规定进行测定。 5.5.2 磷元素含量的测定按JC/T2027—2010规定进行。 6 检验规则 6.1 检验分类 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的检验分为质量一致性检验和型式检验。 6.2 型式检验 6.2.1 通则 出现下列情况之一时应进行型式检验: 2GB/T32652—2016 a) 新产品或者产品转厂生产的试制定型鉴定; b) 正式生产后,如原材料、工艺或设备有较大改变,可能影响产品性能时; c) 停产6个月以上恢复生产时; d) 出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时; e) 国家质量监督机构提出进行型式检验要求时; f) 有关部门或用户提出进行型式检验的要求时。 6.2.2 检验样本 型式检验的样本在产品中随机抽取。 6.2.3 检验项目 型式检验项目包括外观、灼烧失量、二氧化硅含量、粒度、杂质元素含量。 6.2.4 合格判定 所有检验项目中若有一项检验结果不合格,可从同一批料中再抽取两倍数量的试样量进行该项目 的复检,若检验结果仍不合格,则不予批准型式检验合格。 6.3 质量一致性检验 6.3.1 通则 质量一致性检验为逐批检验。 6.3.2 组批 以相同原料、相同工艺连续生产并一次提交的产品构成一个检验批,最大批量不超过20000kg。 6.3.3 抽样 每批产品应在总包装单元的5%中抽样,抽样包装单元数量应不小于10个,当批量小于10个包装 单元时应逐包抽样。取样适量,混匀充分,用四分法缩分,缩分至2kg,装入洁净容器内。经缩分的样 品,在100℃的干燥箱中干燥30min,置于磨口瓶中保存。 6.3.4 检验项目 质量一致性检验项目包括外观、粒度、杂质元素含量。 6.3.5 合格判定 所有检验项目中,若有一项检验结果不合格,则判该批产品不合格。不合格产品由供需双方协商 处理。 7 标志、包装、运输和贮存 7.1 标志 产品包装上应有牢固清晰的标志,至少应包括以下内容: a) 产品名称; b) 净质量;GB/T32652—2016 GB/T32652—2016 c) 规格; d) 标准号; e) 生产厂名; f) 厂址; g) 生产日期; h) 批号。 7.2 包装 产品用塑料编织袋包装,封口应结实,密闭防污染。编织袋应符合GB/T8946的规定。若用户对 产品包装有特殊要求,由供需双方协商决定。 7.3 运输 产品运输过程中,不应与污染物及其他易损物品混装,不应有剧烈的振动或撞击,应有防雨、防晒 措施。 7.4 贮存 产品应在空气流通、无粉尘的仓库内贮存,防止曝晒、雨淋、污染、潮湿。