(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123022302.3 (22)申请日 2021.12.0 3 (73)专利权人 苏州亿拓光电科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区苏州 大道东381号商旅大厦6幢90 3室 (72)发明人 胡进　胡彧　 (74)专利代理 机构 苏州三英知识产权代理有限 公司 32412 专利代理师 陆颖 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) G09F 9/30(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 柔性显示屏外围引线的激光刻蚀装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种应用于大尺 寸(86寸 或以上)的柔性显示屏外围引线的激光刻蚀装 置， 激光刻蚀装置包括包括光学平台， 一维移动 机构， CCD相机组件以及激光振镜组件。 光学平台 提供水平工作台面， 水平工作台面包括一小面积 的精密运动区域， 该区域内设有真空吸附载物 台。 一维移动机构配置于精密运动区域内， 且作 用于CCD相机组件与激光振镜组件。 CCD相机组件 和激光振镜组件分别用于识别定位标靶、 确定柔 性显示屏待刻蚀区域的偏移量和倾斜角度以及 根据识别的偏移量和倾斜角度在刻蚀柔性显示 屏的待刻蚀区过程中调整自身位置。 本实用新型 的柔性显示屏外围引线的激光刻蚀装置具有低 成本、 高精度、 高可靠性和高效率的优点。 权利要求书1页 说明书7页 附图4页 CN 216780671 U 2022.06.21 CN 216780671 U 1.一种柔性显示屏外围引线的激光刻 蚀装置， 其特征在于， 包括光学平台， 一维移动机 构， CCD相机组件以及激光振镜组件； 所述光学平台具有一水平工作台面， 所述水平工作台面被划分为精密运动区域以及普 通承载区域， 所述水平工作台面上于所述精密运动区域内设置有真空吸 附载物台， 用于通 过抽真空将柔 性显示屏的待刻蚀区域紧 紧吸附在其上表面； 所述一维移动机构配置于所述水平工作台面的精密运动区域内， 且作用于所述CCD相 机组件与所述激光振镜组件， 为 其移动提供平台及动力； 所述CCD相机组件配置于所述一维移动机构上且位于所述真空吸附载物台上方， 所述 CCD相机组件用于读取所属区域内柔性显示屏的定位标靶， 并依据定位标靶识别柔性显示 屏待刻蚀区域的偏移量和倾 斜角度； 所述激光振镜组件配置于所述一维移动机构上且位于所述真空吸附载物台上方， 所述 激光振镜组件根据所述CCD相机组件识别的偏移量和倾斜角度调整自身位置， 并沿所述一 维移动机构移动作用于柔 性显示屏的待刻蚀区， 对其进行外围引线的激光刻蚀。 2.如权利要求1所述的柔性显示屏外围引线的激光刻 蚀装置， 其特征在于， 还包括吸尘 机构， 所述吸尘机构位于所述真空吸附载物台上方， 且位于所述激光振镜组件下方， 用于吸 走刻蚀时银浆气化的粉尘。 3.如权利要求1所述的柔性显示屏外围引线的激光刻 蚀装置， 其特征在于， 所述真空吸 附载物台的表面与所述普通承载区域的所述水平工作台面齐平设置； 和/或， 所述真空吸附载物台的最大长度大于所述 柔性显示屏的最大长度。 4.如权利要求1所述的柔性显示屏外围引线的激光刻 蚀装置， 其特征在于， 所述激光振 镜组件包括激光器、 光学振镜和聚焦透镜， 所述激光器发出 的激光同轴平行入射所述光学 振镜， 所述光学振镜将入射的平行光反射到所述聚焦透镜上， 所述聚焦透镜对其聚焦以实 现激光刻蚀。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216780671 U 2柔性显示屏外围引线的激光刻蚀装 置 技术领域 [0001]本实用新型是关于印刷电子和平板型光电器件技术领域， 特别是关于一种柔性显 示屏外围引线的激光刻蚀装置 。 背景技术 [0002]以广泛应用的平板显示器为例， 它一般 由多层光学或光电器件贴合组成。 这些器 件的基材为玻璃或者PET等透明材料， 其中部制作有功能区域， 外围制作引线。 中部功能区 域可以是液晶显示像素、 背光照明阵列、 电容式或者电阻式的触控单元阵列等等。 中部功能 区域通过外 围引线联接到外部供电以及后续处理电路。 对引线的典型技术要求包括： 良好 的导通性、 厚度薄、 线宽窄以及抗老化和抗弯折 等物理性能要求。 [0003]丝网印刷方法是外围引线制作的重要方法， 常见的用于印刷 导电材料为银浆。 该 方法具有成本低、 效率高、 工艺简单、 可靠性高、 环境友好等诸多优点。 有时， 由于生产工艺 的差别和模块化设计等原因， 中部功能区域和外围引线区域往往在不同的工序中先后完 成， 丝网印刷方法不 容易损伤和污染中部功能 区域， 这也是其优点之一。 [0004]丝网印刷引线的精度受到丝网网眼尺寸、 网线直径、 浆料颗粒度和浆液粘度等因 素的影响， 通常很难实现40um以下的高密度窄线条的精确制作。 对于大尺 寸平板器件， 该问 题尤为严重。 以大尺寸显示面板为例， 其显示单元和触控单元的数量巨大， 引线 数目相比小 尺寸面板大幅增加， 在显示器外边框设计越来越窄的趋势下， 引线的宽度还必须变窄， 密度 急剧增大。 在平板显示技术不断成熟和消费升级的大背景下， 大尺寸的面板在整体面板产 品中的占比会逐渐升高。 上述问题的解决， 显然具有重要的商业 价值。 [0005]为此， 业内引入了激光刻蚀工艺作为补充， 具体方案是丝网印刷粗线条， 而高密度 线条和细线条由激光刻蚀生成， 其线宽和线距可小于20um。 当前激光蚀刻的光场控制的主 流手段是振镜。 目前这种丝印+激光刻蚀的方法， 在平板显示和太阳能电池等各个领域 获得 了广泛应用， 但是对于大尺寸产品的引线制作， 其仍然面临着高成本和效率有限的问题， 详 细分析如下： [0006]大尺寸面板的加工通常需要大尺寸的运动平台， 以86寸电视的面板为例， 其引线 加工的X和Y方向运动范围约2300mm和1250mm， 为了节省占地空间和便于产品加工过程中的 固定， 通常采用动龙门双侧驱动结构， 如图1所示。 [0007]振镜加工头 1安装在横梁轴2 上， 负责第一方向的移动， 此为X轴； 而横梁轴2则由第 一方向上两侧的电机3同步驱动， 负责第二方向的移动， 此为Y轴。 产品固定在台面不运动。 振镜加工头1的加工视场典型值约80*80mm， 激光聚焦的焦点尺寸约3～30um。 典型地， 运动 平台带动振镜加工头1按照步进方式运动， 振镜加工头1的各次加工视场拼接， 最终覆盖产 品上的整个加工图形。 [0008]上述的引线制作设备， 存在若干问题。 [0009]首先， 运动 平台采用常规布局， 运动 平台幅面必须覆盖产品的外形尺寸， 因此这种 高精度的大型平台的制作成本较高， 装调和运输都比较困难， 其中具有 大面积、 高平整度的说　明　书 1/7 页 3 CN 216780671 U 3