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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122993112.X (22)申请日 2021.12.01 (73)专利权人 大族激光科技产业 集团股份有限 公司 地址 518000 广东省深圳市南 山区深南大 道9988号 (72)发明人 杨龙 张明荣 魏文 张庆礼 吴文锋 何灼坤 钟伟 曹智刚 李少荣 高云峰 (51)Int.Cl. B23K 26/38(2014.01) B23K 26/14(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 吸附组件、 吸附载台及激光加工设备 (57)摘要 本申请适用于生产加工技术领域, 提供一种 吸附组件、 吸附载台及激光加工设备, 所述吸附 组件包括: 安装座, 设有第一高度调节螺纹; 支 撑 体, 设有承 载端, 所述承 载端设有第一开口; 所述 支撑体还设有第二开口, 所述第二开口与所述第 一开口连通; 所述支撑体的远离所述承载端的位 置设有第二高度调节螺纹; 所述支撑体通过所述 第二高度调节螺纹与所述第一高度调节螺纹连 接于所述安装座, 使得沿所述支撑体的高度方 向, 所述支撑体能相对所述安装座升高或降低。 本申请实施例提供的吸附组件能提高工件的平 坦度。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 216607668 U 2022.05.27 CN 216607668 U 1.一种吸附组件, 其特 征在于, 包括: 安装座, 设有第一高度调节螺纹; 支撑体, 设有承载端, 所述承载端设有第一 开口; 所述支撑体还设有第二 开口, 所述第二 开口与所述第一 开口连通; 所述支撑体的远离所述承载端的位置设有第二高度调节螺纹; 所述支撑体通过所述第 二高度调节螺纹与 所述第一高度调节螺纹连接于所述安装座, 使得沿所述支撑体的高度方向, 所述支撑体能相对所述 安装座升高或降低。 2.如权利要求1所述的吸附组件, 其特 征在于, 所述支撑体包括: 支撑部件; 吸附头, 可拆卸的连接 于所述支撑 部件; 所述承载端设置 于所述吸附头; 所述第二高度调节螺纹设置 于所述支撑 部件。 3.如权利要求2所述的吸附组件, 其特征在于, 所述吸附头的材料的硬度小于承载于所 述承载端的工件的材 料的硬度; 或者, 所述吸附头的材 料为非金属材 料。 4.如权利要求2所述的吸附组件, 其特 征在于, 所述支撑体还 包括: 进气接头, 设置于所述第二 开口。 5.如权利要求1所述的吸附组件, 其特 征在于, 所述吸附组件 还包括: 弹性元件, 一侧与所述支撑体抵 接, 另一侧与所述 安装座抵 接。 6.如权利要求1所述的吸附组件, 其特 征在于, 所述吸附组件 还包括: 防松紧固件, 将所述支撑体与所述 安装座固定 。 7.如权利要求6所述的吸附组件, 其特征在于, 所述防松紧固件与所述支撑体螺纹连 接, 所述防松紧 固件还抵接于所述安装座。 8.如权利要求1至7任一项所述的吸附组件, 其特征在于, 所述支撑体还设有用于与安 装及拆卸工具 连接的工具 连接部。 9.一种吸附载台, 其特 征在于, 包括如权利要求1至8任一项所述吸附组件。 10.一种激光加工设备, 其特 征在于, 包括如权利要求1至8任一项所述吸附组件。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216607668 U 2吸附组件、 吸附载台及 激光加工设 备 技术领域 [0001]本申请属于生产加工技术领域, 更具体地说, 涉及一种吸附组件、 吸附载台及激光 加工设备。 背景技术 [0002]在脆性材料的激光加工行业中, 显示屏面板行业的市场近几年一直很火热。 随着 消费水平的不断提高, 人们对物质的需求也有 更高的要求, 目前市面上的显示屏已突破100 寸。 [0003]进行激光加工时, 玻璃面板需要承载于吸附载台的承载板。 脆性材料对激光加工 的精度要求很高, 通常要求加工的精度误差达到微米级别, 进而要求激光的焦深很敏感, 对 吸附载台的平坦度的要求就很高。 激光加工的均匀 性要达到一致, 就要保证 吸附板的平坦 度达到0.2mm的精度。 要支撑100寸的玻璃面板(即工件), 承载板的尺寸也需要至少为100 寸, 100寸的承载板的幅面很大, 其平坦度难以达 到0.2mm的精度, 导 致工件的平坦度较低。 实用新型内容 [0004]本申请的实施例提供一种吸附组件、 吸附载台及激光加工设备, 能提高工件的平 坦度。 [0005]第一方面, 本申请的实施例提供一种吸附组件, 包括: [0006]安装座, 设有第一高度调节螺纹; [0007]支撑体, 设有承载端, 所述承载端设有第一 开口; [0008]所述支撑体还设有第二 开口, 所述第二 开口与所述第一 开口连通; [0009]所述支撑体的远离所述承载端的位置设有第二高度调节螺纹; [0010]所述支撑体通过所述第二高度调节螺纹与所述第一高度调节螺纹连接于所述安 装座, 使得沿所述支撑体的高度方向, 所述支撑体能相对所述 安装座升高或降低。 [0011]在第一方面的一些 可能的实施方式 中, 所述支撑体包括: [0012]支撑部件; [0013]吸附头, 可拆卸的连接 于所述支撑 部件; [0014]所述承载端设置 于所述吸附头; [0015]所述第二高度调节螺纹设置 于所述支撑 部件。 [0016]在第一方面的一些可能的实施方式中, 所述吸附头的材料的硬度小于承载于所述 承载端的工件的材 料的硬度; [0017]或者, 所述吸附头的材 料为非金属材 料。 [0018]在第一方面的一些 可能的实施方式 中, 所述支撑体还 包括: [0019]进气接头, 设置于所述第二 开口。 [0020]在第一方面的一些 可能的实施方式 中, 所述吸附组件 还包括: [0021]弹性元件, 一侧与所述支撑体抵 接, 另一侧与所述 安装座抵 接。说 明 书 1/5 页 3 CN 216607668 U 3
专利 吸附组件、吸附载台及激光加工设备
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