ICS 77. 120. 99 H68 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 23611—2009 金 靶材 Gold target 2009-04-15发布 2010-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 23611—2009 前言 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准由北京达博有色金属焊料有限责任公司参与起草。 本标准主要起草人：闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民。 GB/T23611—2009 金草 靶材 1范围 本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。 本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材（以下简称金靶材）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T4134金锭 GB/T11066.5金化学分析方法银、铜、铁、铅、和铋量的测定 原子发射光谱法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3要求 3.1产品分类 金靶材的类型按金的纯度分为IC-Au99.99、IC-Au99.999二种。 金靶材的形状主要为圆盘状，尺寸主要有直径：100mm、125mm、150mm、200mm、250mm、 300mm，厚度通常为3mm~6mm。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的金靶材。 3.2化学成分 金靶材IC-Au99.99的化学成分应符合GB/T4134的规定。 金靶材IC-Au99.999的化学成分应符合表1的规定 表1金靶材IC-Au99.999的化学成分 % 元素 Ag Cu Fe Pb Bi Sb IS Pd 质量分数，不大于 0.0005 0.0001 0.000 3 0.0001 0.0001 0.0001 0.000 3 0.0001 元素 Mg Sn As Cr Ni Mn 杂质总量 质量分数，不大于 0.000 1 0.0001 0.0001 0.0001 0.000 1 0.0001 0.001 注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由双方协商解决。 3.3供货状态 金靶材以加工态供货。 3.4几何尺寸 金靶材的几何尺寸及其允许偏差应符合表2的规定。 表2金靶材的几何尺寸及其允许偏差 单位为毫米 直 径 厚 度 尺寸 允许偏差 尺寸 允许偏差 100 ±0.1 125 ±0.1 3~6 ±0.1 150 ±0.1 200 ±0.15 GB/T 23611—2009 表2(续) 单位为毫米 直 厚 度 尺寸 允许偏差 尺寸 允许偏差 250 ±0.15 3~6 ±0.1 300 ±0.15 3.5表面粗糙度 金靶材表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。 3.6外观质量 金靶材表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。 金靶材表面应无拉伸润滑痕迹，颗粒附加物和其他沾污。 金靶材表面应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。 3.7内部质量 金靶材的内部质量不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。 4试验方法 4.1金靶材IC-Au99.99的化学成分的分析方法按GB/T11066.5执行，金靶材IC-Au99.999的化学 成分分析方法按供需双方协商决定。 4.2金靶材几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、 来样检查。 4.3表面粗糙度由表面粗糙度仪检测。 4.4外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5检验规则 5.1检验和验收 5.1.1产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写 质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不 符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需 双方在需方场所共同进行。 5.2组批 产品应成批提交验收。每批应由同一炉号、状态和规格的产品组成。 5.3检验项目及取样 检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。 表3检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号 逐锭 化学成分 缩孔下 3. 2 4. 1 几何尺寸 任意部位 逐件 3.4 4.2 表面粗糙度 任意部位 逐件 3. 5 4.3 外观质量 任意部位 逐件 3. 6 4. 4 5.4检验结果的判定 5.4. 1 化学成分不合格时，判该锭不合格。 5. 4. 2 几何尺寸不合格时，判该件产品不合格 2 GB/T 23611—2009 5.4.3表面粗糙度不合格时，判该件产品不合格。 5.4.4外观质量不合格时，判该件产品不合格。 标志、包装、运输、贮存 6 6.1标志 在已检验合格的每批产品上应附有如下标记： 产品名称； a) b) 纯度； 类型、规格； c) d) 数量； e) 净重； 批号； 生产日期； g) h) 供方名称； i) 生产厂家地址电话。 6.2 包装、运输和贮存 6.2. 1 产品用二层防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。 6. 2. 2 每批产品应附标签，注明：产品名称、靶材纯度、批号、规格、状态、净重、毛重、生产日期。 6.2.3 产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整。 6.2. 4 产品应保存于清洁的环境中。 6.3 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，注明： a) 客户名称； b) 供方名称； c) 产品名称； d) 纯度； e) 类型、规格； f) 数量； g) 净重； h) 批号； i) 检测报告和质量检验部门印记； j) 生产日期； k) 执行标准号。 订货单（或合同）内容 7 订购本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： a) 产品名称； b) 纯度； c) 供货状态； d) 规格； e) 数量； f) 执行标准号； g) 其他。