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ICS 31.200 CCS L 40 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42709.5—2023/IEC62047-5:2011 半导体器件微电子机械器件第5部分：射频MEMS开关 SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices- Part 5:RF MEMS switches （IEC62047-5:2011,IDT) 2023-05-23发布 2023-09-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T42709.5—2023/IEC62047-5:2011 目次前言 II 引言 INV 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 3.1 开关操作术语 3.2 开关结构术语 3.3 驱动方式术语 3.4 开关网络结构术语 3.5 可靠性术语 3.6 电特性术语基本额定值和特性 4.1 标识和类型说明 4.2 应用和规格说明 4.3 极限值和工作条件 4.4 直流和射频特性 4.5 机械和环境特征 4.6 附加信息 5 测试方法 5.1 通则 5.2 直流特性 5.3 射频特性： 10 5.4 开关特性 6 可靠性 6.1 通则 6.2 寿命周期 15 6.3 温度循环 16 6.4 高温高湿试验 6.5 冲击试验· 17 6.6 振动试验 17 6.7 静电放电敏感度试验 17 附录A（资料性）射频MEMS开关的一般说明 18 附录B（资料性）射频MEMS开关的几何结构

GB-T 42709.5-2023 半导体器件微电子机械器件第5部分：射频MEMS开关

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