ICS13.040.35 C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.4—2010/ISO14644-4:2001 洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造、启动 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 4:Design,construction and start-up (ISO14644-4:2001.IDT) 2011-01-14发布 2011-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.4—2010/ISO14644-4:2001 目 次 前言 引言 范围 2 引用标准 术语和定义 要求 规划和设计 6 建造和启动 检测和验收 文件 附录A(资料性附录) 控制和隔离的概念 附录B(资料性附录) 分级举例 13 附录C(资料性附录) 设施的验收 15 附录D(资料性附录) 设施的布局· 18 附录E(资料性附录) 建造和材料 21 附录F(资料性附录) 洁净室的环境控制 25 附录G(资料性附录) 空气洁净度的控制 27 附录H(资料性附录) 待需方/用户与供方/设计方商定的补充技术要求 29 参考文献

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