书 书 书犐犆犛 ２９ ． ０４５ 犆犆犛犎 ８３ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ２０２２８ — ２０２１ 代替 犌犅 ／ 犜 ２０２２８ — ２００６ 砷化镓单晶 犌犪犾犾犻狌犿犪狉狊犲狀犻犱犲狊犻狀犵犾犲犮狉狔狊狋犪犾 ２０２１  ０５  ２１ 发布 ２０２１  １２  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２０２０ 《 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 　 /G2D １ /G2E /G2F ： /G26 /G27 /G28 /G22 /G23 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G2C 》 /G30 /G36 /G37 /G34 /G35 。 /G21 /G22 /G23 /G38 /G39 ＧＢ ／ Ｔ２０２２８ — ２００６ 《 /G3A /G28 /G3B /G3C /G3D 》， /G3E ＧＢ ／ Ｔ２０２２８ — ２００６ /G3F /G40 ， /G41 /G31 /G32 /G42 /G43 /G33 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /G49 ， /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E /G28 /G4F /G50 ： ａ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G26 /G27 /G30 /G53 /G54 /G55 /G56 （ /G57 /G2D １ /G58 ， ２００６ /G59 /G5A /G30 /G2D １ /G58 ）； ｂ ） 　 /G5B /G5C /G52 /G36 /G55 /G46 /G5D /G54 /G22 /G23 ＧＢ ／ Ｔ１３３８８ （ /G57 /G2D ２ /G58 ）； ｃ ） 　 /G5E /G41 /G52 “ /G4D /G5F /G33 /G37 /G60 ” /G61 /G30 /G3C /G3D 、 /G3D /G62 /G30 /G37 /G60 （ /G57 ２００６ /G59 /G5A /G30 /G2D ３ /G58 ）； ｄ ） 　 /G5E /G41 /G52 /G24 /G63 /G64 /G65 /G66 /G30 /G2F /G67 （ /G57 ２００６ /G59 /G5A /G30 ４．１．２ ）， /G5B /G5C /G52 /G24 /G68 /G69 /G30 /G2F /G67 （ /G57 ４．２．２ ）； ｅ ） 　 /G5E /G41 /G52 /G3C /G3D /G62 /G30 /G6A /G6B /G65 /G66 （ /G57 ２００６ /G59 /G5A /G30 ４．３ ）； ｆ ） 　 /G6C /G22 /G23 /G61 /G30 “ /G3C /G3D ”“ /G3C /G3D /G62 ” /G6D /G6E /G6F “ /G3A /G28 /G3B /G3C /G3D ”（ /G57 /G2D ５ /G58 ， ２００６ /G59 /G5A /G30 /G2D ５ /G58 ）； ｇ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G70 /G71 /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．１ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ５．３．２ ）； ｈ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G6A /G73 /G74 /G75 /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．２ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ５．３．３ ）； ｉ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G76 /G77 /G73 /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．３ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ５．３．１ ）， /G78 /G5B /G5C /G52 /G79 /G7A /G65 /G66 、 /G7B /G7A /G36 /G2C /G61 /G3F /G7C /G30 /G7D /G7E （ /G57 ６．３ 、 /G2D ７ /G58 ）； ｊ ） 　 /G5B /G5C /G52 /G3D /G7F /G80 /G81 /G82 /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．４ ）； ｋ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G83 /G84 /G85 /G86 /G87 /G3A /G28 /G3B /G3C /G3D /G30 /G88 /G89 /G8A /G8B /G8C 、 /G8D /G8E /G8C /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．５ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ５．１．２ ）； ｌ ） 　 /G5B /G5C /G52 /G8F /G73 /G8D /G8E /G8C /G90 /G91 /G92 /G46 /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．５ ） /G93 /G94 /G95 /G96 /G65 /G66 （ /G57 ６．５ ）； ｍ ） 　 /G5B /G5C /G52 /G84 Ｃ /G85 /G86 /G87 /G3A /G28 /G3B /G3C /G3D /G30 /G8D /G97 /G46 /G98 /G4B /G72 （ /G57 ５．５ ）； ｎ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G99 /G9A /G9B /G82 /G30 /G4B /G72 （ /G57 ５．６ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ５．２ ）； ｏ ） 　 /G51 /G47 /G52 /G9C /G9D 、 /G7B /G7A /G9E /G9F 、 /GA0 /GA1 、 /G7B /G7A /G31 /GA2 /GA3 /G37 /G30 /G7D /G7E （ /G57 ７．２ ～ ７．４ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ７．３ ～ ７．５ ）； ｐ ） 　 /G51 /G47 /G52 /GA4 /GA5 /G22 /G23 /G30 /G7D /G7E （ /G57 ８．５ ， ２００６ /G59 /G5A /G30 ８．３ ）； ｑ ） 　 /G5B /G5C /G52 “ /GA6 /GA7 /G3C /G7D /G7E ”（ /G57 /G2D ９ /G58 ）。 /GA8 /GA9 /GAA /G21 /G22 /G23 /G30 /GAB /GAC /G7D /G7E /GAD /G98 /GAE /G93 /GAF /GB0 。 /G21 /G22 /G23 /G30 /GB1 /GB2 /GB3 /G32 /G90 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GAF /GB0 /G30 /GB8 /GB9 。 /G21 /G22 /G23 /GBA /GBB /GBC /G85 /G2B /GBD /GBE /GBF /G33 /GC0 /GC1 /G26 /G27 /G28 /G4C /G4D /GC2 /GC3 /GC4 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） /G3E /GBB /GBC /G85 /G2B /GBD /GBE /GBF /G33 /GC0 /GC1 /G26 /G27 /G28 /G4C /G4D /GC2 /GC3 /GC4 /GC0 /GC1 /G2F /G4C /G4D /GC2 /GC3 /GC4 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ／ ＳＣ２ ） /GC5 /GC6 /GC7 /GC8 /G78 /GC9 /GCA 。 /G21 /G22 /G23 /G34 /G35 /G3C /G99 ： /GCB /GCC /G61 /GCD /GCE /GCF /G3D /GBD /GC0 /GC1 /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 、 /GCB /GCC /GD4 /GD5 /GCE /GCF /GD6 /GD7 /GD8 /GD9 /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 、 /GD0 /GDA /GDB /GDC /G4C /G4D /GDD /GDE /GDF /GE0 /GE1 /GD0 /GD1 /GB8 /GB9 /GD2 /GD3 、 /GE2 /GE3 /GE4 /G2B /GE4 /GE5 /GC0 /GC1 /GD8 /GD9 /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 、 /GD0 /GDF /GE6 /G8D /GE7 /GC0 /GC1 /GD0 /GD1 /GB8 /GB9 /GD2 /GD3 、 /G60 /GE8 /GE9 /GEA /GE7 /GC0 /GC1 /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 。 /G21 /G22 /G23 /G4A /G4B /G34 /G35 /GEB ： /GEC /GED 、 /GEE /G2A /GEF 、 /GF0 /GF1 /GF2 、 /GF3 /GF4 /GF5 、 /GF6 /GBC /G22 、 /GF7 /GF8 /GF9 、 /GFA /GFB /GFC 、 /GFD /GFE /GFF 、 /G21 /G22 /G23 、 /GEE /G24 、 /G25 /G26 /G27 、 /G28 /G29 /G2A 、 /G2B /GF2 /GEE 。 /G21 /G22 /G23 /G2C ２００６ /G59 /G2D /G2E /GB1 /GB2 ， /G21 /G2E /G6F /G2D /G6E /G2E /G2F /GA6