中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 ICS 31.030 CCS L 90 GB/T 46697—2025 电子级八甲基环四硅氧烷 Electronic grade octamethyl cyclotetrasiloxane 2025 ⁃10⁃31 发布 2026 ⁃05⁃01 实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布GB/T 46697—2025 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则　第 1部分：标准化文件的结构和起草规则 》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （SAC/TC 203）提出并归口 。 本文件起草单位 ：南大光电半导体材料有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、江苏 南大光电材料股份有限公司 、广州赛西标准检测研究院有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、浙江佳 汇新材料有限公司 、中芯国际集成电路制造 （北京）有限公司 、上海市计量测试技术研究院 、云南能投硅 材科技发展有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、浙江新安化工集团股份 有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、湖北兴瑞硅材料有限公司 、南大光电 （乌兰察布 ）有限公司 、 金宏气体股份有限公司 、南大光电 （淄博）有限公司 。 本文件主要起草人 ：陈德义、沈伊凡、曹可慰、茅炳荣、史泽远、曹益宁、孙建、赵俊莎、刘立伟、马瑞、 孙鹏、张婷、徐文涛、李春华、张健、何靖、鲁铮、吴怡然、白伟、宋芳源、万烨、高周、王荣、李加旺、江晓婷、 毛国玉、张宝帅、李俊杰、汪晨、孙丽丽、刘阳赞、王勇、陈功锋、陆平、张鹏、李书兵、彭元兵、刘能巧、 王敏华、李双、魏有文、刘治、陈琪、钱瑶 。 Ⅰ GB/T 46697—2025 电子级八甲基环四硅氧烷 1　范围 本文件规定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求 、检验规则 、包装、标志、随货资 料、运输、贮存及安全警告的要求 ，描述了对应的检测方法 。 本文件适用于沉积氧化硅 、碳氧掺杂硅 、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷 ，以其优异的 绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层 、集成电路绝缘层和介电层等 。 2　规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件 ；不注日期的引用文件 ，其最新版本 （包括所有的修改单 ）适用于 本文件。 GB 190　危险货物包装标志 GB/T 3723　工业用化学产品采样安全通则 GB/T 6324 .8　有机化工产品试验方法　第 8部分：液体产品水分测定 卡尔 •费休库伦电量法 GB/T 6680　液体化工产品采样通则 GB/T 11446 .1　电子级水 GB 12463　危险货物运输包装通用技术条件 GB 15258　化学品安全标签编写规定 GB 15603　危险化学品仓库储存通则 GB/T 16483 —2008　化学品安全技术说明书　内容和项目顺序 GB/T 17519 —2013　化学品安全技术说明书编写指南 GB/T 25915 .1　洁净室及相关受控环境　第 1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T 26793　库伦法微量水分测定仪 GB/T 32566　不锈钢焊接气瓶 GB/T 37837　四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则 SJ/T 11637　电子化学品　电感耦合等离子体质谱法通则 SJ/T 11638　电子化学品中颗粒的测试方法 3　术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义 。 4　技术要求 电子级八甲基环四硅氧烷应符合表 1的规定。 1 GB/T 46697—2025 表1　技术指标要求 有机纯度 {Si4[O（CH 3）2]4}/% 元素杂质含量硼（B）含量 /（µg/kg） 铝（Al）含量 /（µg/kg） 锑（Sb）含量 /（µg/kg） 砷（As）含量 /（µg/kg） 钡（Ba）含量 /（µg/kg） 铍（Be）含量 /（µg/kg） 铋（Bi）含量 /（µg/kg） 镉（Cd）含量 /（µg/kg） 钙（Ca）含量 /（µg/kg） 铬（Cr）含量 /（µg/kg） 钴（Co）含量 /（µg/kg） 铜（Cu）含量 /（µg/kg） 镓（Ga）含量 /（µg/kg） 锗（Ge）含量 /（µg/kg） 金（Au）含量 /（µg/kg） 铪（Hf）含量 /（µg/kg） 铟（In）含量 /（µg/kg） 铱（Ir）含量 /（µg/kg） 铁（Fe）含量 /（µg/kg） 铅（Pb）含量 /（µg/kg） 锂（Li）含量 /（µg/kg） 镁（Mg）含量 /（µg/kg） 锰（Mn）含量 /（µg/kg） 汞（Hg）含量 /（µg/kg） 钼（Mo）含量 /（µg/kg） 镍（Ni）含量 /（µg/kg） 铌（Nb）含量 /（µg/kg） 钯（Pb）含量 /（µg/kg） 铂（Pt）含量 /（µg/kg） 钾（K）含量 /（µg/kg） 铼（Re）含量 /（µg/kg） 铑（Rh）含量 /（µg/kg）≥99.9 — ≤10 — ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10≥99.99 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25项　目技术指标 E1级 E2级 2 GB/T 46697—2025 元素杂质含量 无机纯度 （以元素杂质占比计 ）/% 水分含量 /（mg/kg）　 颗粒数量 （粒径 ≥0.2 um）/（pcs/mL） 注1： “—”表示该项目不做要求 。 注2： 表中未规定的杂质元素含量或颗粒物指标由供需双方协定 。 注3： E1级为电子级 1级，作为光纤 、光伏、面板等领域 ；E2级为电子级 2级，作为集成电路和先进封装领域 。铷（Rb）含量 /（µg/kg） 银（Ag）含量 /（µg/kg） 钠（Na）含量 /（µg/kg） 锶（Sr）含量 /（µg/kg） 钽（Ta）含量 /（µg/kg） 铊（Tl）含量 /（µg/kg） 钍（Th）含量 /（µg/kg） 锡（Sn）含量 /（µg/kg） 钛（Ti）含量 /（µg/kg） 钨（W）含量 /（µg/kg） 铀（U）含量 /（µg/kg） 钒（V）含量 /（µg/kg） 锌（Zn）含量 /（µg/kg） 锆（Zr）含量 /（µg/kg）≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≥99.999 9 ≤100 —≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≤0.25 ≥99.999 999 ≤10 ≤10表1　技术指标要求（续） 项　目技术指标 E1级 E2级 5　检测方法 5.1　八甲基环四硅氧烷有机纯度的测定 5.1.1　试剂和材料 八甲基环四硅氧烷有机纯度的测定所需的试剂和材料如下所示 。 a）高纯氮气 ：纯度大于 99.999%。 b）高纯氢气 ：纯度大于 99.999%。 c）高纯空气 ：纯度大于 99.999%。 5.1.2　仪器与设备 5.1.2.1　色谱柱 色谱柱型号 ：SE⁃30（100%二甲基聚硅氧烷非极性高性能通用毛细管柱 ） ，内壁经过薄膜处理的长 为30 m，内径为 320 µm熔融石英毛细管 ，膜厚 0.25 µm，或其他等效毛细管柱 。 3 GB/T 46697—2025 5.1.2.2　色谱条件 配有 FID检测器的气相色谱仪 ，气相色谱宜采用的设置条件见表 2。 表2　气相色谱条件 控制单元 进样口温度 初始柱温 检测器温度 进样量 分流比条件 200 ℃ 80 ℃ 300 ℃ 1 µL 100∶1控制单元 色谱柱流量 （N2） 分流模式 氢气流量 空气流量 尾吹气流量 （N2）条件 1.5 mL/min 恒流模式 30 mL/min 400 mL/min 25 mL/min 采用程序升温测试八甲基环四硅氧烷的有机纯度 ，柱箱程序升温参数应符合表 3规定。 表3　程序升温参数 序号 1 2速率 /（ ℃/min） 0 10值/ ℃ 80 200保持时间 /min 2 2 5.1.3　测试方法 有机纯度测试应按照下列步骤进行 ： a）启动仪器 ，设定气相色谱仪各项操作参数 ，至仪器基线稳定正常 ； b）使用测试样品置换清洗 10 µL进样针 ≥3次，每次进行量 1 µL，进样后测试得到八甲基环四 硅氧烷样品图谱见附录 A，计算机采集所有有机组分的峰面积响应值 ； c）样品测试结束后以保留时间定性 ，面积百分比法定量 ，积分后得出产品的有机纯度 ； d）有机纯度精密度要求 3次平行样之间的 RSD ≤1%，绝对差值 ≤0.01%； e）